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防止?jié)崈羰异o電放電的方法 上海

更新時間:2015-09-07點擊次數(shù):2431

    防止?jié)崈羰异o電放電的方法         上海   


一種防止?jié)崈羰异o電放電的方法,可于一具有一層流裝置的潔凈室中去除靜電荷,該潔凈室中具有一層流裝置,設(shè)置于該潔凈室的天花板上;本發(fā)明先至少一設(shè)置于該層流的中具有一*高度的離子產(chǎn)生器,該離子產(chǎn)生器包含有至少一發(fā)射管,且各該發(fā)射管的至少一輸出端正對于該天花板,然后再至少一設(shè)置于該層流的中且具有一第二高度的傳輸系統(tǒng),用以傳送至少一載具,zui后利用至少一電壓源施加于各該發(fā)射管之上,以去除該潔凈室中的靜電荷;本發(fā)明將該離子產(chǎn)生器的發(fā)射管的輸出端正對于該天花板,可避免因電場強度會過規(guī)格的上限而對自動傳輸軌道上的載具所攜的材料造成破壞.

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