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目前有相當多的方法可以用來評估分批式注入機的雜質顆粒水平。在我們的案例中，通過每周三次用KLA的SP1機臺對控片的雜質顆粒增加進行檢測，該控片用來測量不同摻雜離子的表面電阻。同時，在氬氣氛中進行離子注入的17片整批晶圓也以相同的頻率每隔一天進行監(jiān)控。使用氬氣氛的好處包括可以減少不同注入離子間的交*污染和降低氣體使用的成本。這種雙重監(jiān)控方案允許我們獲得多重注入源的變化情況，包括不同天之間，不同種類的離子之間以及不同片之間的注入波動情況。這樣的監(jiān)控結果允許我們對大部分（即便不是全...

潔凈室的環(huán)境控制藥品、食品制造業(yè)及儀器制造業(yè)、生化及細菌培養(yǎng)等為提高產品品質及安全衛(wèi)生，需要一種特殊的無菌生產空間——潔凈室。在藥品生產中，微粒和微生物是藥品生產潔凈室環(huán)境控制的主要對象。■潔凈室的空氣潔凈度控制塵埃粒子數的控制。對潔凈室塵埃粒子數的控制，空氣凈化系統(tǒng)起著關鍵的作用。針劑生產的空氣潔凈度要求為100級時，采用垂直和水平單向流流型，氣流風速分別大于0.25米/秒和0.35米/秒；當空氣潔凈度要求為10000級、100000級時，采用非單向流，換氣次數分別大于25...

潔凈采樣車知識一、潔凈采樣車的介紹是一種垂直單向流局部空氣凈化設備。該產品是醫(yī)藥衛(wèi)生、生物制品、食品、電子等行業(yè)的取樣、貨物傳遞等的理想凈化移動設備。該產品適合于無塵環(huán)境使用，常用于醫(yī)藥制劑（無菌制劑除外）原材料的采樣。二、潔凈采樣車主要技術要求1、正常工作條件：溫度5-40℃，相對濕度80%，大氣壓力80-160Kpa。2、外觀：烘漆表面應光亮平整，涂層無起殼、剝落現象，裝飾簾應光滑、垂直、無損傷現象。3、腳輪：靈活可靠。4、凈化效率：萬級。5、噪音：在風速達標范圍內不大于...

空氣自凈器安裝、使用與維護的要點1、空氣凈化器設備安裝地點應遠離遠高速源和震源，應安裝在各級凈化廠房或空調廠房內，可根據需要水平安裝或垂直安裝，安裝時應在安裝面上放置5MM厚的乳膠海綿密封墊框，確保氣密性。2、空氣凈化器自凈器安裝孔大小根據自凈器的外型尺寸確定。3、空氣凈化器設備如果使用調壓器，可調節(jié)調壓器電壓不改變出風面的平均風速，從而地使用自凈器，提高過濾器的使用壽命。4、為保證凈化區(qū)域的潔凈度，每次使用前應提前15分鐘開機。5、潔凈空氣吹出面應正對需要凈化的工作區(qū)，期間...

空氣潔凈技術在制藥生產企業(yè)中的應用和普通產品不同，藥品是關乎人類健康的特殊產品，在生產過程中有著為嚴格的要求。而醫(yī)藥潔凈廠房是潔凈廠房中的重要分支，它起步晚，缺乏經驗，但發(fā)展速度快而為業(yè)界人士矚目。潔凈技術在醫(yī)藥行業(yè)的廣泛應用，已引起廣大設計、施工、生產、管理等部門和人員共同關注。本來主要討論空氣潔凈技術在藥品生產中的應用與問題?？諝鉂崈艏夹g是創(chuàng)造潔凈空氣環(huán)境的一門技術?？諝鉂崈艏夹g的應用zui早出現于航空航天儀表的“控制裝配區(qū)”,逐漸擴展應用到精密加工的產品、噴漆、大規(guī)模集...

塵埃粒子計數器的分類與工作原理塵埃粒子計數是檢測空氣塵埃粒子顆粒的粒徑及其分布的設備，由顯微鏡發(fā)展而來，經歷了顯微鏡、沉降管、沉降儀、離心沉降儀、顆粒計數器、激光粒子計數器、PCS納米激光空氣粒子計數器的過程，其中因激光空氣粒子計數器具有檢測速度快、動態(tài)分布較寬、不受人為影響等多方面的優(yōu)勢，而成為多年來眾多行業(yè)的主流設備。根據不同標準的分類：1、按檢測原理：光散射法檢測（白光、激光）、顯微鏡法檢測、稱重法檢測、DMA法檢測（粒徑分析儀）、慣性法檢測、凝聚核法檢測（CNC）等。...

潔凈采樣車的維護方法和工作原理潔凈采樣車是一種可局部潔凈環(huán)境的垂直單向流局部空氣凈化設備，可靈活地流動于車間內使用，彌補了固定式層流罩、空氣凈化器等設備無法達到的某些空間的潔凈度要求。是醫(yī)藥衛(wèi)生、生物制品、食品、電子等行業(yè)的取樣、貨物傳遞等的理想化移動設備，也是GMP第22條規(guī)定的*設備。根據GMP標準要求，本公司生產的采樣車達到萬級潔凈度（zui高可達百級），同時使用的電動元件符合GB1497-85（電動安全標準）、GB-191（包裝標準）的規(guī)定。結構由不銹鋼或噴塑鋼板箱體...

通風柜的工作原理以簡單的方式,通風柜可以理解為一個鐵柜和一臺風機.進入鐵柜的氣體被風機排出并且安全的釋放到大氣中,以便接觸這些氣體的工作者和學生都可以得到保護.這樣,復雜的通風柜操作就變的簡單易懂了.正如我們所知道的,許多突變的氣體容易分解,變弱,有毒的氣體需要處理以后才能放到大氣里,先,要有合適的空氣推力,被稱作"氣體在通風柜里朝某一方向移動的速度"(簡稱風速).被認為較合理的風速一般為0.5米/秒.為了保持一定的風速,空氣的數量或排氣管的容量是有要求的.排氣管的容量是用每...